多晶硅正從光伏邁向電子級 還原爐清洗不可忽視

多晶硅，作為光伏與半導(dǎo)體行業(yè)的基礎(chǔ)命脈，其自身品質(zhì)與成本狀況極大程度地決定了行業(yè)的發(fā)展水平。集成電路用的電子級硅材料幾乎是目前工業(yè)領(lǐng)域純度要求最高的產(chǎn)品，純度要求達到99.99999999999%，即11個9以上，而普通太陽能級多晶硅材料純度通常在5～8個9左右，國內(nèi)多晶硅正由光伏邁向電子級。
 
國際咨詢機構(gòu)IBS發(fā)布的數(shù)據(jù)顯示，從2014年起，中國集成電路市場規(guī)模在全球占比超過50%，預(yù)計到2020年超過60%。根據(jù)《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進綱要》明確提出的發(fā)展目標，2018年中國集成電路產(chǎn)業(yè)增長22.0%，產(chǎn)業(yè)規(guī)模達到6400億元。到2020年將全面達到全國集成電路發(fā)展“十三五”規(guī)劃的目標，產(chǎn)業(yè)銷售規(guī)模達到9300億元。

在多晶硅的生產(chǎn)過程中，一些物料和污物會粘附在內(nèi)壁、視孔鏡、底部法蘭上，增加反應(yīng)生成過程中的能耗，增加生產(chǎn)成本，更加影響多晶硅的質(zhì)量，影響了多晶硅的純度。為了保證多晶硅還原爐表面的潔凈度，需要對還原爐清洗和烘干等工作。
 
德高潔公司憑借多年來對自動化清洗系統(tǒng)設(shè)計、制造的成熟經(jīng)驗和能力，早在2009年就研發(fā)出多晶硅還原爐清洗系統(tǒng)，經(jīng)過多年來客戶的實際應(yīng)用和需求，通過總結(jié)借鑒國內(nèi)外經(jīng)驗，德高潔對污染和潔凈的概念和控制有了更全面的認識，充分發(fā)揮高壓水清洗和吸除塵的技術(shù)優(yōu)勢，進一步研制出電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)。
 
德高潔電子級多晶硅鐘罩清洗系統(tǒng)自動化程度高，用PLC+觸摸屏柔性自動控制系統(tǒng)，能實現(xiàn)對還原爐鐘罩的自動清洗和烘干，清洗烘干時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數(shù)可以根據(jù)需要自行調(diào)整設(shè)定，同時具有半自動或手動功能。一次吊裝在一個工作臺上完成全部清洗、烘干過程，可實現(xiàn)遠程對樓下設(shè)備的控制和主要參數(shù)監(jiān)控。

全密閉式清洗烘干系統(tǒng)，使污染物(廢氣、廢水等)在受控的條件下，按設(shè)計出口排放，基本消除了對現(xiàn)場及操作人員的污染。核心部件、元件和附件原裝進口保證了電子級多晶硅鐘罩清洗系統(tǒng)性能的可靠，可以在一套系統(tǒng)實現(xiàn)多種型號鐘罩的清洗烘干。目前，德高潔在多晶硅還原爐清洗行業(yè)已擁有國內(nèi)90%的用戶，為多晶硅行業(yè)提供了幾十套還原爐清洗系統(tǒng)。